2025-06-05 09:30:16
【导(dǎo)语(yǔ)】走(zǒu)进(jìn)杭(háng)州(zhōu)昆(kūn)泰(tài)磁(cí)悬(xuán)浮(fú)技(jì)术(shù)有(yǒu)限(xiàn)公(gōng)司(sī)的(de)调(diào)试(shì)车(chē)间(jiān)，一(yī)款(kuǎn)被誉为半导体制造“真空心脏”的磁悬浮分子泵正接受严格调试。这款看似普通的银色圆筒设备，实则打破了国外技术垄断，实现了我国磁悬浮分子泵的国产化突破。它不仅在半导体领域大放异彩，还广泛应用于科研、工业、氢能源汽车及家用等多个领域。杭州昆泰，这个源自北航院士团队的创新企业，正以坚定的步伐，在高端装备自主化的道路上砥砺前行。
走进调试车间里，研发人员正在调试一种银色圆筒设备——磁悬浮分子泵。这看似普通的装置，被称为半导体制造“真空心脏”的关键设备，在过去完全依赖进口。
前不久，在杭州市科技局组织的媒体采风调研活动中，记者来到了杭州昆泰磁悬浮技术有限公司（以下简称“杭州昆泰”）近距离接触到磁悬浮分子泵。
“可别小看这个不起眼的泵。”杭州昆泰研发总监韩雪笑着说，“它打破了国外企业的技术垄断，实现了我国磁悬浮分子泵国产化率‘零的突破’。”
什么是磁悬浮分子泵？它相当于一种真空获得设备，如同一个“超级清洁工”，将封闭空间里的气体分子快速“清扫”出去，让空间达到几乎没有气体分子的状态。
这与日常生活中，人们使用真空收纳袋的原理有些类似，人们通过手动抽气泵或者电动抽气泵，按压时，使抽气泵内的压力大于收纳袋内气压，从而将袋内的空气强制排出。
而磁悬浮分子泵则是让泵内转子高速旋转，借助分子碰撞和拖曳作用，将气体分子，从真空室的一端输运到另一端，从而实现抽气。
韩雪介绍，在制造芯片过程中，需要将腔体保持极高的真空度。“传统机械泵就像‘油烟机’，轴承中的润滑油会污染芯片；而我们的磁悬浮分子泵就像‘无叶风扇’，可以使轴承完全悬浮，进行无接触运行。”
磁悬浮分子泵主要依赖磁悬浮轴承技术，研究人员利用磁悬浮原理，使得分子泵内的转子，在运转过程中处于悬浮状态，避免了机械接触，减少了摩擦和磨损，从而实现更快的旋转速度。
“要快速抽取真空，叶轮需在高速旋转下保持稳定，这是研发过程中的一大难题。” 韩雪说，叶轮是磁悬浮分子泵里的关键部件，主要用于抽气。叶轮尺寸较大，却要实现每分钟 24000次的高速旋转，对控制要求极高。
为此，团队经过两年的反复迭代验证，最终攻克难题，确保叶轮在高强度旋转下依然保持稳定。
“我们不仅解决了‘卡脖子’问题，还实现了部分性能反超。”韩雪介绍，如KTP-304磁悬浮分子泵抽速达350-570L/s，比国际主流产品高出20%以上，价格却只有进口设备的70%-80%。
在昆泰的展厅里，陈列着各种“磁悬浮+”产品：磁悬浮纺机电机、磁悬浮氢气循环泵、磁悬浮厨电风机……这些创新的背后，离不开团队的努力。
杭州昆泰“脱胎”于实验室，核心研发团队源自北京航空航天大学（以下简称“北航”），公司拥有 80 余人的技术团队，其中博士及博士后共33 人，具备近 20 年的设计、研发及应用经验。
目前除了半导体领域，这项源自北航院士团队的磁悬浮技术，还在科研、精密仪器、工业、氢能源汽车及家用等领域大显身手。
“我们从高校出来创业，对技术钻研较深，但对政策了解有限。”韩雪坦言，“政府各级部门经常来(lái)企(qǐ)业(yè)调(diào)研(yán)，主动(dòng)送(sòng)来(lái)惠(huì)企(qǐ)政(zhèng)策(cè)，指(zhǐ)导(dǎo)项(xiàng)目(mù)申(shēn)报(bào)，还(hái)积(jī)极(jí)帮(bāng)助(zhù)技(jì)术(shù)人(rén)员(yuán)解(jiě)决(jué)落(luò)户(hù)安(ān)家(jiā)问(wèn)题(tí)，让(ràng)大(dà)家(jiā)能(néng)全身(shēn)心(xīn)投(tóu)入(rù)创(chuàng)业(yè)和(hé)技(jì)术(shù)攻(gōng)关。”
良(liáng)好(hǎo)的(de)创(chuàng)业(yè)氛(fēn)围(wéi)，给(gěi)企(qǐ)业(yè)有(yǒu)了(le)继(jì)续(xù)向(xiàng)下(xià)扎(zhā)根(gēn)的(de)信(xìn)心(xīn)。“接(jiē)下(xià)来(lái)，将(jiāng)继(jì)续(xù)在(zài)原(yuán)有(yǒu)的(de)基(jī)础(chǔ)上(shàng)，完(wán)善(shàn)产(chǎn)品(pǐn)性(xìng)能(néng)，持(chí)续(xù)完(wán)善(shàn)产(chǎn)品(pǐn)矩(ju)阵(zhèn)，在(zài)高(gāo)端(duān)装(zhuāng)备(bèi)自(zì)主化(huà)的(de)道(dào)路上(shàng)坚(jiān)定(dìng)前(qián)行(xíng)。”韩(hán)雪(xuě)表(biǎo)示(shì)。
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